一場(chǎng)并購(gòu)，拉開(kāi)了北方華創(chuàng)（002371.SZ）進(jìn)軍光刻設(shè)備市場(chǎng)的號(hào)角。

2025年3月10日晚間，北方華創(chuàng)發(fā)布公告稱，擬受讓沈陽(yáng)先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“先進(jìn)制造”）持有的芯源微（688037.SH）9.49%的股份，交易金額為16.87億元。

同時(shí)，北方華創(chuàng)還表示，沈陽(yáng)中科天盛自動(dòng)化技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中科天盛”） 擬轉(zhuǎn)讓所持芯源微8.41%的股份，公司將積極通過(guò)參與公開(kāi)掛牌競(jìng)買等方式繼續(xù)增持芯源微股份并取得對(duì)其控制權(quán)。

據(jù)了解，截至2024年9月30日，芯源微第一大股東遼寧科發(fā)實(shí)業(yè)有限公司持有芯源微10.61%的股權(quán)。如果北方華創(chuàng)能夠順利完成上述兩大交易，北方華創(chuàng)將持有芯源微17.9%的股份，成為其第一大股東。

北方華創(chuàng)強(qiáng)調(diào)，此次交易的目的是為了加快推動(dòng)公司戰(zhàn)略落實(shí)，發(fā)揮協(xié)同效應(yīng)。

國(guó)內(nèi)唯一的光刻設(shè)備龍頭

眾所周知，光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備，是半導(dǎo)體領(lǐng)域的三大主要設(shè)備。目前，在刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備領(lǐng)域，北方華創(chuàng)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，已經(jīng)是行業(yè)龍頭企業(yè)了。但在光刻設(shè)備領(lǐng)域，北方華創(chuàng)的布局較為薄弱。如果我們以“光刻”二字為關(guān)鍵字在北方華創(chuàng)2024年半年報(bào)中進(jìn)行搜索的話，找不到任何內(nèi)容。

但如果北方華創(chuàng)能夠控股芯源微，情況就不一樣了！

芯源微公告顯示，公司是目前國(guó)內(nèi)唯一可以提供量產(chǎn)型前道涂膠顯影機(jī)的廠商，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的技術(shù)積累和在客戶端的驗(yàn)證及量產(chǎn)應(yīng)用，目前已完成在前道晶圓加工環(huán)節(jié) 28nm 及以上工藝節(jié)點(diǎn)的全覆蓋，14納米及以下先進(jìn)制程工藝也在有序驗(yàn)證中。

此外，為應(yīng)對(duì)高端光刻機(jī)日益提升的產(chǎn)能需求，芯源微最新一代超高產(chǎn)能前道涂膠顯影機(jī)FTEX的研發(fā)工作也在高效推進(jìn)中，公司將快速推進(jìn)其驗(yàn)證和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

那么什么是涂膠顯影設(shè)備？它有什么用處呢？據(jù)了解，涂膠顯影設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)線上唯一與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè)的核心設(shè)備，它與光刻機(jī)高度綁定。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，涂膠就是把光刻膠涂抹到半導(dǎo)體晶圓上。而后，光刻機(jī)對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光，在曝光后由顯影設(shè)備進(jìn)行光刻圖案的顯影?？梢哉f(shuō)，涂膠顯影設(shè)備的好壞，直接關(guān)系到光刻的良率！

綜上所述，如果北方華創(chuàng)能夠成功入主芯源微，那么北方華創(chuàng)在光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備三大設(shè)備領(lǐng)域，都將是國(guó)內(nèi)的龍頭企業(yè)。

當(dāng)然，除了涂膠顯影設(shè)備，芯源微在其他半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，也有可圈可點(diǎn)之處。

芯源微曾發(fā)布公告稱，2024年上半年，公司臨時(shí)鍵合機(jī)、解鍵合機(jī)商業(yè)化推廣和驗(yàn)證進(jìn)展順利，目前在手量產(chǎn)或驗(yàn)證性訂單已十余臺(tái)，已全面覆蓋國(guó)內(nèi)主要2.5D、3D封測(cè)及HBM客戶。目前該產(chǎn)品已完成部分客戶驗(yàn)證并獲得重復(fù)性訂單，在驗(yàn)機(jī)臺(tái)工藝指標(biāo)表現(xiàn)優(yōu)秀。

此外，2024年8月底，芯源微戰(zhàn)略新產(chǎn)品-前道單片式高溫硫酸清洗機(jī)在上海臨港廠區(qū)啟運(yùn)發(fā)往國(guó)內(nèi)重要邏輯客戶開(kāi)展工藝驗(yàn)證。據(jù)悉，高溫硫酸清洗工藝被業(yè)界公認(rèn)為28nm/14nm制程性能要求最高的工藝之一，也是業(yè)內(nèi)最具難度和挑戰(zhàn)的濕法工藝，芯源微研發(fā)的該款設(shè)備有望打破國(guó)外龍頭對(duì)高溫硫酸清洗技術(shù)的絕對(duì)壟斷，機(jī)臺(tái)性能及工藝技術(shù)致力于達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。